HUDU

The Physics of Micro/Nano-Fabrication


€ 279,49
 
gebunden
Lieferbar innerhalb von 2-3 Tagen
Januar 1993

Beschreibung

Beschreibung

In this revised and expanded edition, the authors provide a comprehensive overview of the tools, technologies, and physical models needed to understand, build, and analyze microdevices. Students, specialists within the field, and researchers in related fields will appreciate their unified presentation and extensive references.

Inhaltsverzeichnis

1. Preliminary Survey.- 2. Particle Beams: Sources, Optics, and Interactions.- 3. Plasmas: Physics and Chemistry.- 4. Layering Technologies.- 5. Pattern Generation.- 6. Microcharacterization.- 7. Limits to Nanofabrication.- Appendixes.- Author Index.
EAN: 9780306441462
ISBN: 0306441462
Untertitel: 1992. Auflage. Book. Sprache: Englisch.
Verlag: Springer
Erscheinungsdatum: Januar 1993
Seitenanzahl: 672 Seiten
Format: gebunden
Es gibt zu diesem Artikel noch keine Bewertungen.Kundenbewertung schreiben